大家對微型動態(tài)壓力傳感器的了解有多少?該傳感器是一種用于風(fēng)洞、發(fā)動機(jī)等測試部門測量壓力的設(shè)備,它采用金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,這是一個比較明顯的特點。為什么會使用它比較多呢,主要還是因為它的體積小,可以放在很多其它傳感器放不了的地方,那么大家對微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點及動態(tài)特性有多少了解呢?不清楚的話,就讓小編來為大家詳細(xì)的介紹一下吧,感興趣的朋友可以看一看。
微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點:
小體積是其區(qū)別于一般工業(yè)、民用壓力傳感器的一個特點。這是由它的應(yīng)用場合決定的特性,在模型試驗、流場壓力測量、風(fēng)洞實驗、爆破、水利縮模實驗等應(yīng)用中,必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形,通用的隔膜壓力傳感器,如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右,長度60mm,這樣的尺寸對于上述應(yīng)用已無法滿足。
目前實驗中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,長寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經(jīng)過真空鍵合,金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,經(jīng)過溫度補(bǔ)償和各項指標(biāo)篩選,可以得到直徑3--8mm,長度15-30mm的微型結(jié)構(gòu)尺寸,一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應(yīng)用比較普遍的微型壓力傳感器。
微型動態(tài)壓力傳感器的動態(tài)特性:
動態(tài)壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類,壓電式傳感器是高頻測量效果最佳的傳感器,應(yīng)變式動態(tài)響應(yīng)稍差,前兩者均不易做到5mm以下微型化,而硅壓阻式壓力傳感器動態(tài)性能好,同時容易實現(xiàn)微型化封裝,具有廣泛的應(yīng)用前景。
硅壓阻式壓力傳感器的動態(tài)性能主要取決于其芯片的設(shè)計原理和生產(chǎn)工藝,動態(tài)壓力傳感器在芯片的設(shè)計和制造工藝上對動態(tài)指標(biāo)進(jìn)行了優(yōu)化,這與普通工業(yè)用的傳感器芯片是不一樣的。
另一方面還受其封裝方式的影響,一般根據(jù)膜片的封裝分為齊平式封裝和帶導(dǎo)壓管的封裝方式?;蛘呤菐в休^短壓腔的準(zhǔn)齊平封裝。其最高可用頻率響應(yīng)可達(dá)400KHZ, 帶有管腔的傳感器也可達(dá)到3-10KHZ左右的使用頻率范圍。
傳感器的輸出信號再通過專用高頻信號放大器,可以輸出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的歸一化電壓信號,方便使用者采集處理。
以上就是關(guān)于微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點和動態(tài)特性的詳細(xì)介紹,總的來說,這類傳感器