微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器廣泛應(yīng)用于介質(zhì)壓力微弱的場(chǎng)合測(cè)量與控制,因?yàn)樗哂辛己玫姆莱蹦芰皟?yōu)異的介質(zhì)兼容性,這只是它的性能特點(diǎn)之一,它還有更多優(yōu)勢(shì)被人們所喜愛(ài),那么到底是什么優(yōu)勢(shì)呢?下面,小編就為大家簡(jiǎn)單介紹一下。
1.小體積是其區(qū)別于一般工業(yè)、民用壓力傳感器的一個(gè)特點(diǎn)。這是由它的應(yīng)用場(chǎng)合決定的特性,在模型試驗(yàn)、流場(chǎng)壓力測(cè)量、風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)、爆破、水利縮模實(shí)驗(yàn)等應(yīng)用中,必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形,通用的隔膜壓力傳感器,如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右,長(zhǎng)度60mm,這樣的尺寸對(duì)于上述應(yīng)用已無(wú)法滿足。
目前實(shí)驗(yàn)中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,長(zhǎng)寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經(jīng)過(guò)真空鍵合,金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,經(jīng)過(guò)溫度補(bǔ)償和各項(xiàng)指標(biāo)篩選,可以得到直徑3--8mm,長(zhǎng)度15-30mm的微型結(jié)構(gòu)尺寸,一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應(yīng)用最為普遍的微型壓力傳感器。
2.微型壓力傳感器的動(dòng)態(tài)特性:
動(dòng)態(tài)壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類,壓電式傳感器是高頻測(cè)量效果最佳的傳感器,應(yīng)變式動(dòng)態(tài)響應(yīng)稍差,前兩者均不易做到5mm以下微型化,而硅壓阻式壓力傳感器動(dòng)態(tài)性能好,同時(shí)容易實(shí)現(xiàn)微型化封裝,具有廣泛的應(yīng)用前景。
硅壓阻式壓力傳感器的動(dòng)態(tài)性能主要取決于其芯片的設(shè)計(jì)原理和生產(chǎn)工藝,動(dòng)態(tài)壓力傳感器在芯片的設(shè)計(jì)和制造工藝上對(duì)動(dòng)態(tài)指標(biāo)進(jìn)行了優(yōu)化,這與普通工業(yè)用的傳感器芯片是不一樣的。
另一方面還受其封裝方式的影響,一般根據(jù)膜片的封裝分為齊平式封裝和帶導(dǎo)壓管的封裝方式?;蛘呤菐в休^短壓腔的準(zhǔn)齊平封裝。其最高可用頻率響應(yīng)可達(dá)400KHZ, 帶有管腔的傳感器也可達(dá)到3-10KHZ左右的使用頻率范圍。
傳感器的輸出信號(hào)再通過(guò)專用高頻信號(hào)放大器,可以輸出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的歸一化電壓信號(hào),方便使用者采集處理。
1.穩(wěn)定性好,滿度、零位長(zhǎng)期穩(wěn)定性可達(dá)0.25%FS/年。在補(bǔ)償溫度-20~80℃范圍內(nèi),溫度飄移低于0.25%FS,在整個(gè)允許工作溫度范圍內(nèi)低于0.5%FS。
2.具有反向保護(hù)、限流保護(hù)電路,在安裝時(shí)正負(fù)極接反不會(huì)損壞變送器,異常時(shí),變送 器會(huì)自動(dòng)限流在35mA以內(nèi)。
3.固態(tài)結(jié)構(gòu),無(wú)可動(dòng)部件,高可靠性,使用壽命長(zhǎng), 安裝方便、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)耐用。
4.從風(fēng)壓到氣、水、油、蒸汽都可以進(jìn)行高精度的測(cè)量,不受被測(cè)介質(zhì)質(zhì)量大小的影響。
以上就是小編的介紹,希望對(duì)大家了解微型壓力傳感器的特點(diǎn)有所幫助。